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技術(shù)指標(biāo)
2.1.供電電源:AC220V,50HZ.功率,約1KW;
2.2.氣源:6Mpa以上潔凈高純氮氣;
2.3.運(yùn)行環(huán)境:①濕度范圍 38∽85%RH(不結(jié)露環(huán)境)
?、跍囟确秶?-10~40℃
?、蹮o強(qiáng)電場、強(qiáng)磁場干擾
?、軞庠磯毫Ψ€(wěn)定
2.4.工位數(shù):2個
2.5.測試項目:①內(nèi)部泄漏量試驗
②流量特性試驗
?、壅蜃畲箝_閥壓差試驗
?、苣嫦蜃畲箝_閥壓差試驗
2.6.數(shù)顯壓力表:精度優(yōu)于±0.5%
2.7.數(shù)顯氣體流量計:精度優(yōu)于±2%
2.8.電壓電流:數(shù)顯, 精度優(yōu)于±0.5% 。