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1.供電電源：AC220V,50HZ.功率，約2KW;
2.氣源：4Mpa以上潔凈高純氮?dú)?由甲方提供);
3.運(yùn)行環(huán)境：①濕度范圍 38∽85%RH(不結(jié)露環(huán)境)
②溫度范圍 -10∽40℃
?、蹮o強(qiáng)電場、強(qiáng)磁場干擾
?、軞庠磯毫Ψ€(wěn)定
4.工位數(shù)：1個;夾具適應(yīng)產(chǎn)品STF-01、02、03三種型號
5.測試項(xiàng)目：①內(nèi)部滲漏試驗(yàn)
?、谧罡邉幼鲏毫Σ钤囼?yàn)
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④中間流量測試。
