該試驗(yàn)箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。那厭氧高溫試驗(yàn)箱測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)有哪些，下面來看廣州智品匯電子科技有限公司是如何說明的。

　　特點(diǎn)：

　　1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100。

　　2.全周氬焊，耐高溫硅膠破盡，304不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵。

　　3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)。

　　4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*佳溫度控制精度。